| 公開(公告)號 | CN1901136A |
| 公開(公告)日 | 2007.01.24 |
| 申請(專利)號 | CN200610010244.3 |
| 申請日期 | 2006.06.30 |
| 專利名稱 | 多陰極脈沖弧等離子體源裝置 |
| 主分類號 | H01J37/08(2006.01)I |
| 分類號 | H01J37/08(2006.01)I;H01J37/04(2006.01)I;H05G1/00(2006.01)I |
| 分案原申請?zhí)? | |
| 優(yōu)先權(quán) | |
| 申請(專利權(quán))人 | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
| 發(fā)明(設(shè)計)人 | 王浪平;王小峰;王宇航;湯寶寅 |
| 地址 | 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號 |
| 頒證日 | |
| 國際申請 | |
| 進(jìn)入國家日期 | |
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 |
| 代理人 | 岳泉清 |
| 國省代碼 | 黑龍江;23 |
| 主權(quán)項(xiàng) | 一種多陰極脈沖弧等離子體源裝置，它包括陽極外套(1)、陰極外套(2)、上端蓋(3)、磁場線圈一(9)、絕緣墊圈(8)、絕緣墊(11)、推力軸承(23)、絕緣塊(22)、弧放電裝置(101)和磁過濾裝置(102)；其特征在于本發(fā)明還包括主動齒輪(12)、從動齒輪(13)、推進(jìn)桿(14)、移動桿(15)、支撐桿(16)、手柄一(17)、手柄二(18)、軸承一(19)和旋轉(zhuǎn)圓筒(21)；所述的弧放電裝置(101)由陰極(4)、陽極(5)、觸發(fā)極(6)、絕緣瓷套(7)和公共彈簧觸發(fā)桿裝置(20)組成；所述的磁過濾裝置(102)由不銹鋼彎管(10)和磁場線圈二(25)組成；陽極外套(1)與上端蓋(3)之間裝有絕緣墊圈(8)，旋轉(zhuǎn)圓筒(21)上裝有推力軸承(23)，旋轉(zhuǎn)圓筒(21)的下端穿過上端蓋(3)的中心孔與陰極外套(2)的上端固定連接，陰極外套(2)裝在陽極外套(1)內(nèi)，裝在陰極外套(2)上的推進(jìn)桿(14)的下端與陰極(4)的上端固定連接，陰極(4)沿陰極外套(2)的底端面(2-1)的圓周均布，觸發(fā)極(6)通過絕緣瓷套(7)裝在陰極(4)上，陽極外套(1)內(nèi)裝有公共彈簧觸發(fā)桿裝置(20)，公共彈簧觸發(fā)桿裝置(20)的一端與相對應(yīng)的觸發(fā)極(6)相接觸，公共彈簧觸發(fā)桿裝置(20)通過絕緣塊(22)、支撐桿(16)與上端蓋(3)固定連接，推進(jìn)桿(14)的上端外壁上具有外螺紋(14-1)，推進(jìn)桿(14)的上端裝有與推進(jìn)桿(14)螺紋連接的從動齒輪(13)，移動桿(15)穿過旋轉(zhuǎn)圓筒(21)裝在陰極外套(2)內(nèi)，移動桿(15)的上端與手柄一(17)固定連接，移動桿(15)的下端固定裝有可與從動齒輪(13)相嚙合的主動齒輪(12)，移動桿(15)與旋轉(zhuǎn)圓筒(21)的上下兩端之間各裝有軸承一(19)，旋轉(zhuǎn)圓筒(21)的側(cè)壁上固定裝有手柄二(18)，陽極外套(1)的外端面上裝有磁場線圈一(9)，陽極(5)位于陰極(4)中心圓(4-1)的正下方，陽極(5)與陽極外套(1)的下端面固定連接，陽極(5)的下端裝有與陽極外套(1)的下端面固定連接的不銹鋼彎管(10)，陽極(5)與不銹鋼彎管(10)之間裝有絕緣墊(11)，不銹鋼彎管(10)的外壁上纏繞有磁場線圈二(25)。 |
| 摘要 | 多陰極脈沖弧等離子體源裝置，它涉及一種脈沖等離子體產(chǎn)生裝置。針對現(xiàn)有脈沖陰極弧等離子體源，存在易短路的問題及采用在真空室上安裝多個陰極弧等離子體源，存在設(shè)備投資大和采用破壞真空的方法，存在工件強(qiáng)化層性能差的問題。本發(fā)明的推進(jìn)桿(14)裝在陰極外套(2)內(nèi)并與陰極(4)相連接，裝在陰極(4)上的觸發(fā)極(6)與陰極(4)之間裝有絕緣瓷套(7)，公共彈簧觸發(fā)桿裝置(20)的一端與相對應(yīng)的觸發(fā)極(6)相接觸，推進(jìn)桿(14)上裝有螺旋傳動的從動齒輪(13)，移動桿(15)的下端裝在陰極外套(2)內(nèi)，移動桿(15)的下端裝有主動齒輪(12)，陽極(5)位于陰極4的正下方，陽極(5)的下端裝有不銹鋼彎管總成(10)。本發(fā)明具有穩(wěn)定工作時間長、可在不破壞真空的條件下實(shí)現(xiàn)多個陰極的任意切換的優(yōu)點(diǎn)。 |
| 國際公布 |
